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问答题

简答题 超精密加工技术

【参考答案】

加工精度在0.1~0.01um,表面粗糙度Ra在0.03~0.05um的加工技术,如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等,使用于精密元件、计量标准元件、大规模和超大规模集成电路的制造,目前超精密加工的精度正处在亚纳米级工艺,正在向纳米级工艺发展。