填空题常用的超声变幅杆有（）、（）及（）三种形式。
填空题激光加工设备主要包括电源、（）、（）、（）、（）、冷却系统等部分。
填空题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
填空题电火花型腔加工的工艺方法有（）、（）、（）、简单电极数控创成法等。
填空题电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花表面强化和刻字等类型。
