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填空题

实现超精密加工的技术支撑条件主要包括()、()、()、()、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

【参考答案】

超精密加工机理与工艺方法;超精密加工机床设备;超精密加工工具;精密测量和误差补偿