填空题电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花表面强化和刻字等类型。
填空题影响电火花加工精度的主要因素有（）及其一致性、（）及其稳定性和（）。
填空题电火花加工型腔工具电极常用的材料有（）、（）、（）等。
填空题实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。
填空题超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。
