填空题电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。
填空题金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（）进行的。
填空题精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。
填空题超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。
单项选择题逐点比较法插补的特点是运算直观、输出脉冲均匀且速度变化小，其插补误差（）
A.小于l/2个脉冲当量 B.小于1个脉冲当量 C.小于2个脉冲当量 D.小于5个脉冲当量
