超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。

填空题目前金刚石刀具主要用于（）材料的精密与超精密车削加工，而对于（）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。

填空题电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。

填空题金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（）进行的。

填空题精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。

填空题超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。