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问答题

简答题 什么是化学机械抛光？

【参考答案】

化学机械抛光是一种利用研磨液腐蚀作用和磨粒机械作用的双重作用的研磨方法。在利用磨粒和有腐蚀效果的研磨液的研磨中，有使用氧化铁和硫酸或盐酸的水溶液，也有使用MnZn铁淦氧、Al2O3磨粒和盐酸水溶液研磨钆、镓、石榴石基板的实例，其目的都是为提高加工效率和加工质量。不使用磨粒而只利用具有腐蚀效果的加工液进行摩擦抛光的研磨，更适合化合物半导体晶片的加工。对于GaAs晶片，使用NaClO3水溶液或溴甲醇和人造革研具，可以进行几乎大加工缺陷的镜面研磨。

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