简答题 什么是化学机械抛光？

【参考答案】

化学机械抛光是一种利用研磨液腐蚀作用和磨粒机械作用的双重作用的研磨方法。在利用磨粒和有腐蚀效果的研磨液的研磨中，有使用氧化铁和硫酸或盐酸的水溶液，也有使用MnZn铁淦氧、Al₂O₃磨粒和盐酸水溶液研磨钆、镓、石榴石基板的实例，其目的都是为提高加工效率和加工......

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