问答题简述抛光加工的机理和特点。
问答题简述电致伸缩材料和压电材料的特点。
问答题简述电致伸缩微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述电磁控制微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述平行弹性导轨微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述各种微位移机构和器件的性能、特点及其应用场合。
问答题平面类形状位置误差的测量中,利用哪些方法来分离误差,它们在原理上有哪些共同点?
问答题简述三种转位法误差分离原理及其在误差测量中的应用。
问答题简述三点法误差分离方法的特点和应用。
问答题简述误差补偿系统的组成及各组成部分的作用。
问答题简述误差补偿的过程。
问答题简述综合误差补偿、多维误差补偿、预报型误差补偿的含义和意义。
问答题简述软件误差补偿与硬件误差补偿的特点及其相互间的关系。
问答题分别说明误差修正、误差校正、误差抵消、误差均化、误差“钝化”、误差分离等概念。
问答题简述误差补偿的概念及其各种形式。