（1）超精密加工的加工机理； （2）超精密加工设备制造技术； （3）超精密加工刀具、磨具及刃磨技术； （4）精密测量技术及误差补偿技术； （5）超精密加工工作环境条件。
问答题影响精密与超精密加工的因素有哪些？
问答题什么是化学机械抛光？
问答题简述弹性发射加工方法。
问答题简述无损伤抛光方法。
问答题研磨精密平面时，应使用怎样的研磨机床和研具？应有怎样的研磨运动？
