（1）反应剂在室温或不太高的温度下最好是气态或有较高的蒸汽压而易于挥发成蒸汽的液态或活固态物质，且有很高的纯度； （2）通过沉积反应已与生成所需要的材料沉积物，其他副产物均易挥发而留在气相排出或易于分离； （3）反应易于控制。
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