化学气相沉积简单来说就是两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到气体表面上。从气相中析出的固体的形态主要有以下几种：在固体表面上形成薄膜、晶须和晶粒，在气体中形成粒子。
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