简答题 化学气相沉积法的原理是什么？

【参考答案】

是通过化学反应的方式，利用加热等离子激励火光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。
化学气相沉积反应技术的反应原理：CVD是一种材料表面改性技术。它利用气相间的反应，在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度条件下，赋予材料......

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