ULVAC 的RF 电源使用的高频是（）。……

多项选择题检漏仪里标准漏孔的作用是（）。

A.灵敏度校正
B.检漏仪性能确认
C.压力确认
D.漏率检测

多项选择题RF 电源适用的设备是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning

多项选择题RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢

多项选择题下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。

A.RF 电源
B.DC 电源
C.MF 电源
D.EB 电源

多项选择题下列属于热阴极电离真空计的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列