A.智能特征B.智能装备C.智能机器人D.智能工厂
判断题集成电路产业链上游为集成电路设计、制造与芯片产品。（）
判断题近年来，我国集成电路行业发展势头不负众望，特别是在制造领域有了明显突破。（）
判断题从集成电路销售区域分布方面来看，中国大陆为集成电路产业第一大市场。（）
判断题国内企业在硅通孔和再布线工艺方面也有相应的专利布局。（）
判断题光刻机只能用在前道工艺，不可以用在后道工艺。（）
