问答题

简答题简述离子束加工技术的原理与应用

【参考答案】

在真空条件下把氩氪氙等惰性气体通过离子源产生离子束经过加速，集束和聚焦后，投射到工件表面的加工部位进行加工。
应用：离子束刻蚀，粒子束溅射沉积镀膜，离子束辅助镀膜，离子注入。

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