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单项选择题

A.扩散B.化学机械抛光C.刻蚀D.离子注入现代集成电路制造工艺中,主流掺杂技术为()……

现代集成电路制造工艺中,主流掺杂技术为()

A.扩散
B.化学机械抛光
C.刻蚀
D.离子注入

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