判断题飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。
判断题空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。
判断题激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
判断题采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
单项选择题关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）
A.电压相对位置、位移无滞后B.晶体膨胀期间不可预测的力矢量C.居里温度引起的温度限制，低温下压电效应的降低D.柔性铰链的设计对环境噪声的放大
