A.线阵相机B.面阵相机C.PSDD.光电二极管E.APD
判断题压电扫描器利用压电效应产生摆动的扫描器，具有无摩擦、无磨损、无间隙和高谐振频率的特点。
判断题飞点扫描法是利用一个线光源照明待检测表面，并利用单个探测器和多面体进行光信号接收。
判断题空间调制光束的产生光路中设置了相互垂直的光阑。
判断题激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
判断题采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
