判断题激光扫描时光束直径d所产生的半影影响无法消除。
判断题采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
单项选择题关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）
A.电压相对位置、位移无滞后B.晶体膨胀期间不可预测的力矢量C.居里温度引起的温度限制，低温下压电效应的降低D.柔性铰链的设计对环境噪声的放大
判断题激光衍射是一种有效的全场测量。
判断题利用衍射条纹的间隔变化可以精密测量楔角。
