填空题精密和超精密磨料加工分为（）加工和（）加工两大类。
填空题金刚石刀具在超精密切削时所产生的积屑瘤，将影响加工零件的（）和（）。
填空题常用的超声变幅杆有（）、（）及（）三种形式。
填空题激光加工设备主要包括电源、（）、（）、（）、（）、冷却系统等部分。
填空题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
