填空题区熔法由于不使用坩埚,污染少,经区熔提纯后生长的()较高,()和()低。
填空题一般情况下,直拉法拉制的硅单晶电阻率大于()欧姆•厘米,质量很难控制。
填空题用直拉法制备硅单晶时,用()插入熔体表面,待与熔体熔接完成后,慢慢向上提拉完成长晶过程。
填空题用直拉法制备硅单晶时,把()放入(),在硅单晶炉内进行熔化。
填空题()也叫切克劳斯基(Czochralsik)方法,此法早在1917年由切克斯基建立的一种晶体生长方法,后来经过很多人的改进,成为现在制备单晶硅的主要方法。