电致伸缩材料具有大电致伸缩效应和良好温度稳定性；压电材料灵敏度高、机电耦合系数大、材料性能稳定性好、相变温度高（300℃）。
问答题简述电致伸缩微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述电磁控制微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述平行弹性导轨微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述各种微位移机构和器件的性能、特点及其应用场合。
问答题平面类形状位置误差的测量中，利用哪些方法来分离误差，它们在原理上有哪些共同点？
