电磁控制微位移工作台结构简单，控制系统易于实现，行程大，驱动力也较大。位移分辨率可达0.1μm，因此应用比较广泛，有单坐标、双坐标甚至多坐标的电磁控制微位移工作台实例。
问答题简述平行弹性导轨微位移工作台的特点及其应用。
问答题简述各种微位移机构和器件的性能、特点及其应用场合。
问答题平面类形状位置误差的测量中，利用哪些方法来分离误差，它们在原理上有哪些共同点？
问答题简述三种转位法误差分离原理及其在误差测量中的应用。
问答题简述三点法误差分离方法的特点和应用。
