两级旋片式真空泵比单级旋片真空泵具有（）和（）的优势。

填空题油封旋片式真空泵是一种（），使系统能够达到的极限真空度一般为2×10-3乇（mmHg）。

填空题油封式旋片真空泵转子连续转动时，两个叶片周期地（）和（），就能对系统连续进行抽气。

填空题油封式旋片真空泵的转子转动时，二平板在弹簧和空腔的作用下，沿切线来回周期性的滑动，时而靠拢，时而分开，排气口处由于活门的作用，使气体排出而不至返回空腔，用（）避免了活门与大气接触。

填空题真空泵的空腔内有旋转活塞（转子），转子是一圆柱和镶嵌在圆柱切口中的两个平板A和B组成，平板之间装有弹簧，平板紧贴真空泵圆柱形的空腔壁，形成抽气空间，转子的转轴在空腔几何轴线上垂直偏高的位置，空腔内装有机械泵油。这种结构的真空泵叫做（）。

填空题加热电源通过控制柜后进入变压器把220伏（或380伏）电压变成（），送入直拉单晶炉的电极。