1.分滴,当硅片静止或者旋转得非常缓慢时,光刻胶被分滴在硅片上 2.旋转铺开,快速加速硅片的旋转到一高的转速使光刻胶伸展到整个硅片表面 3.旋转甩掉,甩去多余的光刻胶,在硅片上得到均匀的光刻胶胶膜覆盖层 4.溶剂挥发,以固定转速继续旋转已涂胶的硅片,直至溶剂挥发,光刻胶胶膜几乎干燥
问答题在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
问答题例出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。