简答题 例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。

【参考答案】

1.分滴，当硅片静止或者旋转得非常缓慢时，光刻胶被分滴在硅片上
2.旋转铺开，快速加速硅片的旋转到一高的转速使......

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