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单项选择题

A.刻蚀B.离子注入C.光刻D.金属化在较先进的集成电路制造工艺中,通常采()来实现掺杂。……

在较先进的集成电路制造工艺中,通常采()来实现掺杂。

A.刻蚀
B.离子注入
C.光刻
D.金属化

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