简答题 径向电阻率变化RRV计算公式有哪两种？

【参考答案】

（1）对于选点方案A或B，按下式计算电阻率平均百分变化。式中：平均百分变化=[（ρa-ρc）/ρc]*100%ρc硅片中心两点电阻率的平均值。ρa硅片半径中点或距边缘6mm处测得四个电阻率的平均值。
（2）对于选点方案C或D，按下式计算电阻率最大百分变化。式中：最大百分变化=[（ρM-ρm）......

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