简答题 简述硅中氧、碳含量检测的原理。

【参考答案】

硅中的氧主要以间隙的形式存在。间隙氧含量的测量，是用红外光谱仪测定硅-氧键在1107cm^-1（9.0334um）处的红外吸收系数来确定硅晶体中间隙氧的含量。硅中的碳主要以替位的形式存在。替位碳含量的测量，是用红外光谱仪测定硅中替位碳原子在波数为607.2cm^{-1
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