A.直线电机B.滑动丝杠传动机构C.摩擦传动机构高速加工机床的进给系统机构大多采用（）……

单项选择题下列哪种说法不符合绿色制造的的思想（）

A.对生态环境无害
B.资源利用率高，能源消耗低
C.为企业创造利润

单项选择题在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜

单项选择题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）

A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工
B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工
C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

单项选择题光刻加工的工艺过程为（）

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原