A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工 B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工 C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构
单项选择题光刻加工的工艺过程为（）
A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗 B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散 C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
单项选择题FMS非常适合（）
A.大批大量生产方式B.品种单一、中等批量生产方式C.多品种、中小批量生产
单项选择题计算机集成制造技术强调（）
A.企业的经营管理 B.企业的虚拟制造 C.企业的功能集成
单项选择题ERP的含义是（）
A.制造资源计划 B.物料需求计划 C.企业资源计划 D.产品数据管理
名词解释什么是计算机集成制造; 计算机集成制造名词解释定义是什么?
