光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）

A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工
B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工
C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

单项选择题光刻加工的工艺过程为（）

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

单项选择题FMS非常适合（）

A.大批大量生产方式
B.品种单一、中等批量生产方式
C.多品种、中小批量生产

单项选择题计算机集成制造技术强调（）

A.企业的经营管理
B.企业的虚拟制造
C.企业的功能集成

单项选择题ERP的含义是（）

A.制造资源计划
B.物料需求计划
C.企业资源计划
D.产品数据管理