简答题 简述开管CVD和闭管CVD的特点。

【参考答案】

开管CVD的特点：能连续地供气和排气；反应总处于非平衡状态；在大多数情况下，开口体系是在一个大气压或稍高于一个大气压下进行的；开口体系的沉积工艺容易控制，工艺重现性好，工件容易取放，同一装置可反复多次使用；有立式和卧式两种形式。
闭管法的优点：污染的机会少，不必连续抽气保持反应器内的真空，可......

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