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问答题

简答题 简述真空的概念?怎样表示真空程度,为什么说真空是薄膜制备的基础?

【参考答案】

(1)真空概念:空在给定的空间内,气体的压强低于一个大气压的状态,称为真空;
(2)真空程度:真空度、压强、气体分子密度:单位体积中气体分子数;气体分子的平均自由程;形成一个分子层所需的时间等;
(3)物理气相沉积法中的真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等是基本的薄膜制备技术。它们均要求......

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