简答题 简述薄膜在形成稳定核之前及之后的生长过程？

【参考答案】

形成稳定核之前：沉积原子到达基片表面，会发生三种状态。一种是能量较大，在到达基片表面时就会发生反射离开；如果能量较低，变会停留在基片表面，而另一部分原子能量较大，在到达基片表面时，会发生表面迁移扩散。如果扩散原子在驻留时间内不能与其它原子结合形成更大原子团，就会发生再蒸发离开基片表面，而扩散原子团在......

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