填空题测量真空的器械称为（）。一般分为电离规真空计和（）两种。
填空题光学厚度=（）×（）。
填空题目前规定的防污板更换周期为（）罩。更换防污板空镀时要镀（）。
填空题目前GENER机的透亮工艺其烘烤温度是（）。
填空题产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。
