填空题产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。
填空题镀膜膜层厚度监控方法有（）和（）两种。
多项选择题真空度不对会导致以下哪些结果（）。
A、整罩分光特性超差 B、均匀性不好 C、表面不好 D、膜层牢固度不好
多项选择题温度不对会导致以下哪些结果（）。
单项选择题光控曲线不好会导致以下哪些结果（）。
