填空题目前规定的防污板更换周期为（）罩。更换防污板空镀时要镀（）。
填空题目前GENER机的透亮工艺其烘烤温度是（）。
填空题产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。
填空题镀膜膜层厚度监控方法有（）和（）两种。
多项选择题真空度不对会导致以下哪些结果（）。
A、整罩分光特性超差 B、均匀性不好 C、表面不好 D、膜层牢固度不好
