问答题

简答题简述化学气相沉积法的步骤。

【参考答案】

A.反应物已扩散通过界面边界层；
B.反应物吸附在基片的表面；
C.化学沉积反应发生；
D.部分生成物已扩散通过界面边界层；
E.生成物与反应物进入主气流里，并离开系统。

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