简答题 简述影响化学气相沉积制备材料质量的几个主要因素。

【参考答案】

（1）反应混合物的供应
反应混合物的供应是决定材料质量的最重要因素之一。通过实验选择最佳反应物分压配比。
（2）沉积温度
沉积温度是最主要的工艺条件之一。直接影响反应系统的自由能，决定反应进行的程度和方向，对涂层的显微结构及化学组成有直接的影响。同一反应体系在不同温度下......

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