（1）CVD沉积反应是由5个相串联的步骤所形成的。其速率的快慢取决于其中最慢的一项，主要是反应物的扩散及CVD的化学反应。 （2）一般而言，当反应温度较低时，CVD将为表面反应限制所决定；当温度较高时，则为扩散限制所控制（但并不是绝对的）。
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