问答题简述西门子法制备高纯多晶硅的原理,及其反映方程式?
填空题当半导体材质中的受主杂质电离时,受主杂质从价带中俘获一个电子,在价带留下一个空状态,这个空状态称作()。
填空题单晶硅中()(简称寿命)是硅单晶的一个重要参数。
填空题硅单晶中旋涡腐蚀分布图样很多,但基本上可分为二大类:()分布和()分布。
填空题直拉单晶硅中,除线缺陷、面缺陷,析出和杂质条纹外,在无错单晶中,又发现一种(),它严重影响大规模集成电路性能和成品率。