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多项选择题

A.负性光刻B.干法蚀刻C.湿法蚀刻D.正性光刻根据采用的蚀刻剂不同,蚀刻可分为()……

根据采用的蚀刻剂不同,蚀刻可分为()

A.负性光刻
B.干法蚀刻
C.湿法蚀刻
D.正性光刻

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