根据曝光时所用的光源不同，光刻可分为（）

多项选择题典型的高能束表面改性技术包括（）

A.电子束表面改性
B.离子渗碳技术
C.激光表面处理
D.离子注入表面改性

多项选择题典型的等离子体表面处理技术包括（）

A.离子渗金属
B.离子碳氮共渗
C.离子渗氮
D.离子渗碳

多项选择题气相沉积过程包括哪几个环节（）

A.气相物质的产生
B.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜
C.沉积材料蒸发
D.气相物质的输运

多项选择题以下属于阳极氧化膜封闭的方法是（）

A.热水封闭法
B.水解封闭法
C.重铬酸盐封闭法
D.水蒸气封闭法

多项选择题根据成膜时采用的介质可以将化学转化膜分为哪几类（）

A.磷酸盐膜
B.金属着色膜
C.铬酸盐膜
D.氧化物膜

多项选择题电镀溶液包括哪几种（）

A.络合剂
B.附加盐
C.缓冲剂
D.主盐

多项选择题电镀预处理工艺主要包括哪些工艺（）

A.活化处理
B.除锈
C.脱脂
D.整平

多项选择题原子在多晶体中扩散可按几种不同途径进行（）

A.晶界扩散
B.体扩散（晶格扩散）
C.位错扩散
D.表面扩散

多项选择题固体与气体的作用有哪几种形式（）

A.化学反应
B.吸收
C.吸附
D.扩散

多项选择题按照作用原理，表面技术可以分为哪四种基本类型（）

A.整体覆盖
B.颗粒沉积
C.表面改性
D.原子沉积