简答题 薄膜结构是指哪些结构？其特点是哪些？

【参考答案】

薄膜的结构按研究对象不同分为组织结构、晶体结构、表面结构。
（1）组织结构是指薄膜的结晶形态，包括无定形结构、多晶结构、纤维结构、单晶结构。无定形结构：结构特性：近程有序、长程无序；不具备晶体的性质；亚稳态。晶界上存在晶格畸变；界面能：界面移动造成晶粒长大和界面平直化；空位源：杂质富集；纤维......

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