简答题 什么是同质外延、异质外延？晶格失配度？

【参考答案】

外延工艺是一种在单晶衬底的表面上淀积一个单晶薄层的方法。如果薄膜与衬底是同一种材料该工艺被称为同质外延，常被简单地称为外延。
如果薄膜与衬底不是同一种材料该工艺被称为异质外延，常被简单地称为外延。
晶格失配度若沉积薄膜用的基片材料的晶格常数为a，薄膜材料的晶格常数为b，在基片上外......

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