A.曝光波长B.模板图案尺寸C.数值孔径
单项选择题X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。
A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有关的常数值
判断题利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
多项选择题制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。
A.浸渍提拉法B.旋覆法C.喷涂法D.等离子体法
单项选择题磁控溅射与二级溅射相比的特点是（）
A.结构简单B.镀膜速率慢C.基片温度低、损伤小D.靶材利用率高
单项选择题基片浸入预先制备好的溶胶中，以一定的速度将基片向上提出液面，这时在基片上会形成一层均匀的液膜，这种方法是（）
A.旋覆法B.喷涂法C.浸渍提拉法D.刷涂法
