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多项选择题

A.掩模B.缩小C.化学D.物理E.扩大在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透……

在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的(),经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例()后映射到硅片上,然后使用()方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

A.掩模
B.缩小
C.化学
D.物理
E.扩大

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