问答题

简答题简述采用9次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程技术关键。

【参考答案】

1）第一次光刻有源岛；
2）第二次光刻栅极；
3）第三次光刻n^-区和n⁺区掺杂；
4）第四次光刻p⁺区掺杂；
5）第五次光刻过孔及第六次光刻源漏电极；
6）第七次光刻金属M_{3......

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