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问答题

简答题 请具体分析MGF2溅料产生的原因?对此有什么好的方法可以预防。

【参考答案】

MgF2蒸发过程中在熔化物上面容易形成氧化物层,而MgO比MgF2具有更低的蒸汽压,这将引起过热熔化和氧化层破裂,该过程正是溅料的原因。
2、蒸发前充分的预熔除气