A.Process Chamber B.Transfer Chamber C.DSSL D.Scrubber
单项选择题CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）
A.N B.H C.Si D.O
单项选择题CF的本质是在Glass上镀（）
A.液体小分子膜 B.有机高分子膜 C.金属膜 D.无极非金属膜
单项选择题CF工程中，最贵、对Pattern样子的形成起决定作用的设备是（）
A.显影机 B.曝光机 C.OVEN D.Coater
单项选择题CF设备中，相当于冲洗照片过程的设备叫（）
A.清洗机 B.曝光机 C.显像机 D.Coater
单项选择题CF工程中，每个Step都有的一种设备是（）
A.清洗机 B.曝光机 C.Coater D.PRB
